六甲基二硅氮烷

六甲基二硅氮烷（HMDS）是高活性硅基化试剂，无色透明液体，易水解，可快速与含羟基、羧基等活性氢的物质发生硅烷化反应，广泛用于粉体疏水改性以及半导体光刻配套处理。